尖端科學儀器裝備的研發(fā)能力代表著一個國家的科學技術水平，更影響、推動著社會不斷進步

數十年來，我國一代代科研與產業(yè)化工作者投身其中，一次次創(chuàng)造輝煌，蛻變重生。70年代我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵、第一臺商用氦質譜檢漏儀……這些令國人引以為豪的成就，都來自這家位于海淀區(qū)的企業(yè)——北京中科科儀股份有限公司。

勵精圖治數十載，譜寫科儀新篇章

北京中科科儀股份有限公司（簡稱：中科科儀），前身為中國科學院科學儀器廠，成立于1958年，曾為我國“東方紅一號”衛(wèi)星的研制做出重要貢獻，是中國科學院第一家整體轉改制單位。

歷經六十余年的發(fā)展，中科科儀始終致力于電子光學和真空技術領域，承擔了多個國家重要科研攻關項目，研制出多項國內首臺套產品，新產品研發(fā)成果始終代表中國高端電子光學儀器和真空技術最高水平。近年來，更是成功研制出國內首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、首臺磁懸浮分子泵，均達到國際一流水平。

中科科儀先后獲評國家級高新技術企業(yè)、國家級企業(yè)技術中心、國家級“專精特新”小巨人企業(yè)、國家級“單項冠軍”示范企業(yè)，是中國尖端科學儀器裝備與真空技術領軍者。

目前，中科科儀業(yè)務領域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質譜檢漏儀等科學儀器設備和分子泵、真空應用設備等核心零部件及產業(yè)設備，產品廣泛應用于航空航天、半導體、汽車工業(yè)、新能源、新材料、節(jié)能環(huán)保等前沿科學研究和高端裝備制造領域。

掃描電鏡，打開微觀世界的大門

掃描電鏡全稱是掃描電子顯微鏡，被稱為科學界的“納米之眼”，同時也是科技日報列出的國家35項關鍵“卡脖子”技術之一。

作為一種高端通用大型科學儀器，是人類認識、探索微觀世界最重要的工具，是肉眼觀察和光學顯微鏡觀測的延伸。人類眼睛的分辨率大約0.2毫米，可以看到一根頭發(fā)絲的粗細、一張紙的厚度；借助于光學顯微鏡可以看到0.2微米的這個尺度，可以看到細胞、細菌的結構等；而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，可以觀測到病毒、半導體器件的納米結構等。

2014年，中科科儀依托一流的電子光學技術，成功研制我國首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，打破國際壟斷，達到國際一流水平。自問世以來，掃描電鏡廣泛應用到材料科學、生命科學、航天航空、環(huán)境保護、半導體制造等領域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，為我國前沿科學研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。

▲國家重大科學儀器設備開發(fā)專項成果——場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

分子泵，打造超高真空環(huán)境

如今，很多大型的科學儀器和設備的運行離不開超高真空環(huán)境，而要獲得潔凈的超高真空環(huán)境，需要一個特殊的超高真空獲得核心部件——分子泵。

分子泵是科學儀器、前沿科學裝置和產業(yè)裝備等不可或缺的核心零部件，為科研、生產等環(huán)節(jié)提供必要的潔凈、超高真空環(huán)境。在日常生活中人們看到的建筑外墻LOW-E玻璃、電子屏幕的生產制造，以及半導體等戰(zhàn)略新興產業(yè)的各生產工藝環(huán)節(jié)，都依賴于分子泵獲得的超高真空環(huán)境。

2011年，中科科儀依托一流的超高真空獲得技術，成功研制我國首臺磁懸浮分子泵，解決半導體前道工藝與科學研究裝備超高真空獲得核心部件國產化需求，打破國際壟斷，達到一流水平。

▲國家科技重大專項成果——磁懸浮分子泵

真空系統集成裝備，服務國家重大工程

依托一流真空系統開發(fā)與設備集成能力，科儀參與多項國家重點工程，提供定制化真空應用系統解決方案，研制了一系列填補國內空白的首臺套設備，服務高能同步輻射光源國家科技重大基礎設施、江門中微子實驗室國家重點工程、天和核心艙和慧眼衛(wèi)星航天工程等重點工程建設。

▲中科科儀研制的三工位陰極轉移系統服務江門中微子實驗室建設

世界正經歷百年未有之大變局，新一輪科技革命和產業(yè)變革的廣度、深度、速度和精度前所未有，尖端科學儀器裝備與核心零部件的國產化機遇也前所未有。作為國家戰(zhàn)略科技力量投資興辦的企業(yè)，中科科儀始終涵養(yǎng)家國情懷、胸懷國之大者，秉承“創(chuàng)新科學儀器，發(fā)展一流企業(yè)”使命，以一流電子光學和真空技術，打造尖端科學儀器設備及高端裝備制造國家隊，為強化國家戰(zhàn)略科技力量、實現科技自立自強做出新的貢獻。