近日，在重慶力為康智能裝備有限公司檢測車間，北京理工大學重慶微電子研究院（以下簡稱“北理微電院”）彭喆博士正調試參數，光譜儀顯示屏上實時跳動著精準的檢測數據，經過嚴格測試，北理微電院自主研發的FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀各項性能指標均達到或超過預期，標志著該產品順利完成批量生產并交付。
▲FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀測試交付現場
FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀由北理微電院彭喆博士牽頭組建專業研發團隊研發。該產品利用MEMS電熱微鏡技術，成功規避對電機的依賴，采用自主研發、生產的MEMS微鏡，打破國內光譜儀核心部件技術瓶頸，解決微鏡熱響應時間、調制精度、驅動控制等系統問題，填補了國內技術空白。
▲微型近紅外光譜儀產品
▲超大位移電熱MEMS微鏡
“我們先后突破MEMS微鏡熱響應控制、光學系統微型化、光電轉換電路噪聲抑制等多項關鍵技術瓶頸。”北理微電院相關負責人介紹，產品研發過程中，研發團隊完成10余輪設計迭代，測試數據超500組，僅用時7個月，成功實現了該產品從設計研發到量產交付，創造了“北理速度”。
▲北理微電院FTS-DT-101型微型近紅外光譜儀研發團隊
據了解，憑借其技術創新性，該產品已入選2024西部（重慶）科學城十大科技創新成果。產品的產業化應用，將有效提升我國在精密儀器制造領域的技術水平，為相關行業提供重要的技術支撐。
