2026年1月20日—23日，全國工業(yè)過程測量控制和自動化標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會分析儀器分技術(shù)委員會（SAC/TC124/SC6）（以下簡稱 “SC6”）四屆五次會議暨標(biāo)準(zhǔn)送審稿審查會議在云南省昆明市召開。兵器工業(yè)昆明療養(yǎng)院院長、書記潘超，上海儀電科學(xué)儀器股份有限公司產(chǎn)品部經(jīng)理兼 SC6 副主任委員金春法、SC6 秘書長馬雅娟，以及 SC6 委員、委員代表、標(biāo)準(zhǔn)主要起草人等百余人出席本次會議。SC6 秘書處閆海榮主持本次會議。
圖1 會議現(xiàn)場
會議現(xiàn)場
SC6 是由國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會正式批準(zhǔn)成立的全國分析儀器專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化組織，主要負(fù)責(zé)物質(zhì)成分、化學(xué)結(jié)構(gòu)和物理特性的分析測量儀器及儀器測量技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化工作，涵蓋在線分析儀器、便攜式分析儀器、實(shí)驗(yàn)室用分析儀器及移動式分析儀器等產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)化工作。
兵器工業(yè)昆明療養(yǎng)院院長、書記潘超致辭
SC6 秘書處閆海榮作工作匯報
SC6 秘書處閆海榮從標(biāo)準(zhǔn)制修訂、國際標(biāo)準(zhǔn)化活動、標(biāo)委會組織建設(shè)等方面匯報了 2025 年工作情況，并提出 2026 年工作計劃的重點(diǎn)內(nèi)容。計劃包括根據(jù) “十五五” 標(biāo)準(zhǔn)發(fā)展規(guī)劃，不斷完善分析儀器標(biāo)準(zhǔn)體系；促進(jìn)分析儀器技術(shù)發(fā)展和創(chuàng)新；啟動標(biāo)委會換屆工作等。
圖 2 兵器工業(yè)昆明療養(yǎng)院院長、書記潘超致辭
圖3 SC6秘書處閆海榮工作匯報
為響應(yīng)國家產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，掌握分析儀器技術(shù)最新發(fā)展動態(tài)，本次會議特別組織專題技術(shù)交流環(huán)節(jié)。四位專家圍繞分析儀器前沿技術(shù)、產(chǎn)業(yè)化落地經(jīng)驗(yàn)等內(nèi)容作精彩分享。
報告題目：國產(chǎn)光腔衰蕩光譜法氣體分析儀器的開發(fā)與應(yīng)用
報告人：內(nèi)蒙古光能科技有限公司 閻文斌博士
電子特氣是半導(dǎo)體制造中僅次于硅片的第二大耗材，占原材料成本的比例高達(dá) 15%。電子特氣的質(zhì)量直接決定集成電路的性能、集成度和良率。水分是影響芯片良率的 “隱形殺手”。電子特氣純度要求極高，一般達(dá)到 5N—6N 級別。對于雜質(zhì) “水分” 的含量，成熟制程要求通常在 < 100 ppb 到 < 500 ppb 的范圍，先進(jìn)制程的要求則更為嚴(yán)苛。痕量水分檢測面臨高靈敏度與低檢測限、實(shí)時在線監(jiān)測、快速響應(yīng)時間、穩(wěn)定性與可靠性等多重挑戰(zhàn)。
基于上述行業(yè)痛點(diǎn)，針對 ppb 甚至 ppt 級別的痕量水分進(jìn)行高精度、高靈敏度檢測迫在眉睫。光腔衰蕩光譜技術(shù)（簡稱 CRDS 技術(shù)）憑借超高靈敏度、高精度與絕對測量、快速響應(yīng)等關(guān)鍵優(yōu)勢，為半導(dǎo)體生產(chǎn)中各類對水分極其敏感的工藝環(huán)節(jié)提供關(guān)鍵質(zhì)量保障。報告中，閻文斌博士詳細(xì)介紹電子特氣分析的重要性、CRDS 技術(shù)的原理和優(yōu)勢，以及 CRDS 技術(shù)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用實(shí)踐。
圖4 內(nèi)蒙古光能科技有限公司 閻文斌博士作報告
報告題目：國產(chǎn) FTIR 技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用
報告人：中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院安徽光機(jī)所 李相賢研究員
干涉型（傅里葉變換型）紅外光譜技術(shù)具有光譜信噪比與分辨率高、波數(shù)重復(fù)性和準(zhǔn)確性高、光譜掃描范圍寬、雜散光干擾小等優(yōu)點(diǎn)，被譽(yù)為 “分析領(lǐng)域的小巨人”。干涉儀是該技術(shù)的核心部件，也是相關(guān)技術(shù)攻關(guān)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
李相賢研究員團(tuán)隊(duì)多年來致力于攻克干涉儀光學(xué)設(shè)計的關(guān)鍵 “卡脖子” 難題，先后研發(fā)出平行轉(zhuǎn)鏡式干涉儀、雙臂掃擺式干涉儀、高分辨率干涉儀等多款高性能干涉儀。其中，高分辨率干涉儀的分辨率達(dá)到 0.018 cm⁻¹，處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。此外，團(tuán)隊(duì)在相關(guān)方法學(xué)研究上也取得重大進(jìn)展。針對非線性控制難題，創(chuàng)新提出反饋信息精準(zhǔn)獲取方法，顯著提升光譜信噪比。針對光譜分辨率提升需求，創(chuàng)新提出基于線性預(yù)測的光譜分辨率增強(qiáng)方法，有效突破分辨率瓶頸。針對數(shù)據(jù)庫建設(shè)的 “卡脖子” 難題，團(tuán)隊(duì)創(chuàng)建覆蓋 1500 多種氣體成分的紅外光譜定量測量數(shù)據(jù)庫，并開發(fā)兩種物理模型驅(qū)動的專用光譜分析算法，已實(shí)現(xiàn)廣泛應(yīng)用。報告中，李相賢研究員還介紹 FTIR 技術(shù)在固定污染源在線監(jiān)測領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用成果，以及團(tuán)隊(duì)在近紅外光譜儀器研發(fā)及應(yīng)用方面的工作進(jìn)展。
圖5 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院安徽光機(jī)所 李相賢研究員作報告
報告題目：高端質(zhì)譜的國產(chǎn)替代及創(chuàng)新應(yīng)用
報告人：杭州譜育科技發(fā)展有限公司 趙鵬博士
中國質(zhì)譜儀市場規(guī)模達(dá) 140 多億元，約占全球市場的 20%。2024 年，該市場呈現(xiàn)量價雙降態(tài)勢；2025 年，市場總體預(yù)計呈微增趨勢，未來發(fā)展前景值得期待。目前，中國質(zhì)譜儀市場仍由外資品牌主導(dǎo)，SCIEX、安捷倫、賽默飛、沃特世、布魯克、島津、珀金埃爾默等外資企業(yè)占據(jù)約 80% 的市場份額。不過，譜育科技、禾信儀器、安圖生物、鋼研納克、天瑞儀器、萊伯泰科、皖儀科技等國產(chǎn)質(zhì)譜儀器企業(yè)已逐步站穩(wěn)腳跟。國產(chǎn)質(zhì)譜儀器曾面臨的用戶認(rèn)知度低、使用體驗(yàn)差、創(chuàng)新基礎(chǔ)薄弱等問題，如今已得到大幅改善。
報告中，趙鵬博士介紹譜育科技質(zhì)譜儀器的發(fā)展歷程。企業(yè)推出多款國內(nèi)首臺產(chǎn)品，包括便攜式 GC-MS、LC-MS/MS、GC/LC-TQMS、在線 SPE-LCTQMS 等。2023 年 12 月，譜育科技迎來重要里程碑，第 1000 套 ICP-MS、第 500 套 LC-MS/MS 正式下線，累計下線質(zhì)譜設(shè)備已超 3500 臺。此外，譜育科技高度重視技術(shù)服務(wù)和方法開發(fā)，目前擁有 150 余名質(zhì)譜工程運(yùn)維和應(yīng)用人員，設(shè)立 27 個售后服務(wù)駐點(diǎn)，在質(zhì)譜國產(chǎn)化替代方面取得階段性進(jìn)展。趙鵬博士還重點(diǎn)介紹譜育科技旗下有機(jī)質(zhì)譜和無機(jī)質(zhì)譜的發(fā)展歷程、創(chuàng)新性代表產(chǎn)品、核心技術(shù)突破及典型應(yīng)用案例，并期待與各方開展廣泛合作。
圖 6 杭州譜育科技發(fā)展有限公司 趙鵬博士作報告
報告題目：從用戶角度對分析檢測系統(tǒng)智能化需求的實(shí)踐與思考
報告人：北京科技職業(yè)大學(xué) 劉鑫教授
分析檢測智能化需求按應(yīng)用場景可分為生產(chǎn)質(zhì)控、第三方檢測、科學(xué)研究三類。在生產(chǎn)質(zhì)控領(lǐng)域，因生產(chǎn)品種類單一、檢測項(xiàng)目固定、對結(jié)果可靠性要求高且無需額外認(rèn)證認(rèn)可，智能化需求主要體現(xiàn)在自動化層面。在第三方檢測領(lǐng)域，食品、藥品、環(huán)境等檢測的合規(guī)要求嚴(yán)格，需嚴(yán)格遵循標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，且樣品種類和來源多樣、檢測項(xiàng)目繁雜，因此對智能化的需求更為迫切。在科學(xué)研究領(lǐng)域，實(shí)驗(yàn)流程相對單一但實(shí)驗(yàn)條件多變，對智慧化程度要求較高，智能化需求同樣突出。
報告中，劉鑫教授對智能分析系統(tǒng)的發(fā)展進(jìn)行思考與展望。他認(rèn)為，智慧實(shí)驗(yàn)室的發(fā)展旨在打破物理與數(shù)字空間的界限，實(shí)現(xiàn)從少量個體覆蓋到全面覆蓋、從事后記錄到實(shí)時感知、從只關(guān)注結(jié)果到重視全流程的轉(zhuǎn)變。智慧實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的核心路徑包含數(shù)字化、數(shù)智化、自動化、智動化、感知化、感智化六個階段，需依托軟件確保 “數(shù)據(jù)真實(shí)”、硬件保障 “檢測合規(guī)”、感知系統(tǒng)維護(hù) “生產(chǎn)安全”，以此共同推動實(shí)驗(yàn)室向智能協(xié)同與精益管理方向演進(jìn)。劉鑫教授還介紹睿科、戴納和匯像等企業(yè)在自動化技術(shù)、智慧化實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域的代表性成果，分享不同智能檢測系統(tǒng)的實(shí)踐案例。
圖 7 北京科技職業(yè)大學(xué) 劉鑫教授作報告
技術(shù)交流環(huán)節(jié)結(jié)束后，SC6 秘書處組織委員對《危險氣體光譜視頻測控預(yù)警系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》1 項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，以及《基于光散射法的油煙顆粒物在線監(jiān)測儀》《自然伽馬射線煤炭灰分測量儀》《液相色譜制備型恒流泵》3 項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的送審稿及相關(guān)文件進(jìn)行會議技術(shù)審查。標(biāo)委會副主任委員金春法和鄭杰分別主持標(biāo)準(zhǔn)審查會。
標(biāo)準(zhǔn)送審稿審查會議
SC6 委員們針對標(biāo)準(zhǔn)編制說明、標(biāo)準(zhǔn)正文等內(nèi)容逐一仔細(xì)審查，展開熱烈討論，并提出具體修改建議。經(jīng)過深入研討，參會委員和委員代表一致認(rèn)為，本次會議提交的四項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)送審稿資料齊全，編寫文件符合國家、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，一致同意通過審查。會議要求各起草工作組按照委員提出的意見修改完善相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)資料，形成標(biāo)準(zhǔn)報批稿及相關(guān)附件，盡快完成標(biāo)準(zhǔn)報批工作。
此次審查的 4 項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后，將進(jìn)一步規(guī)范相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)行為，強(qiáng)化行業(yè)產(chǎn)品的技術(shù)要求，有效保障進(jìn)入市場的產(chǎn)品質(zhì)量，促進(jìn)國內(nèi)分析儀器產(chǎn)業(yè)健康有序發(fā)展，同時提升國產(chǎn)分析儀器與國際同類產(chǎn)品的整體競爭水平。
圖8 標(biāo)準(zhǔn)送審稿審查會議現(xiàn)場
參觀活動
1 月 22 日下午，標(biāo)委會秘書處組織參會委員和專家，參觀中國光學(xué)歷史博物館。中國光學(xué)歷史博物館依托原國營 298 廠舊址的 13 個山洞修建，選址于 3 號和 4 號洞內(nèi)，是一座極具特色的企業(yè)博物館。2025 年完成擴(kuò)建后，博物館共分為 “艱苦奮斗、無私奉獻(xiàn)、創(chuàng)新強(qiáng)企、敢為人先、人民兵工” 五個篇章。展館以歷史貢獻(xiàn)、技術(shù)發(fā)展和時代精神三條主線，生動講述從 298 廠、昆明物理所、夜視技術(shù)股份有限公司、昆明經(jīng)開區(qū)光電子產(chǎn)業(yè)園的建設(shè)，到夜視院集團(tuán)整合形成完整夜視產(chǎn)業(yè)鏈的沿革發(fā)展過程。展館重點(diǎn)展示中國光學(xué)史上具有里程碑意義的 “十個第一”，深刻詮釋人民兵工的發(fā)展歷程和精神主旨。在這里，大家得以見證中國光學(xué)事業(yè)在抗戰(zhàn)烽火中艱難起步，伴隨新中國成長壯大，在工業(yè)化進(jìn)程中星火燎原，于改革開放浪潮中銳意進(jìn)取，在新時代新征程上逐夢遠(yuǎn)航的壯闊歷史。中國光學(xué)歷史博物館不僅是中國光學(xué)發(fā)展歷程的縮影，更承載著人民兵工精神在光學(xué)領(lǐng)域和西南邊陲的傳承與發(fā)揚(yáng)。
1 月 23 日上午，標(biāo)委會秘書處組織參會委員和專家前往北方夜視技術(shù)股份有限公司參觀交流。北方夜視技術(shù)股份有限公司成立于2000年，隸屬于中國兵器工業(yè)集團(tuán)有限公司，現(xiàn)為中國兵器北方夜視研究院集團(tuán)有限公司子公司，是一流的微光像增強(qiáng)器和微通道板產(chǎn)研一體的夜視元器件專業(yè)企業(yè)。
公司堅持“夜視報國，做世界一流的夜視技術(shù)公司”的發(fā)展理念，以微光真空光電成像器件為核心，按照“提升一代、拓展一代、引進(jìn)一代、探索一代”的思路布局和謀劃核心能力建設(shè)，致力于國家微光夜視軍事裝備的發(fā)展和進(jìn)步。2008年國務(wù)院授予該企業(yè)國家級科技進(jìn)步特等獎。
本次參觀活動意義深遠(yuǎn)，參會委員和專家既在中國光學(xué)歷史博物館中重溫了中國光學(xué)事業(yè)從艱難起步到構(gòu)建完整產(chǎn)業(yè)鏈的壯闊歷程，感悟了艱苦奮斗、敢為人先的人民兵工精神，又在北方夜視技術(shù)股份有限公司近距離了解了國內(nèi)頂尖夜視元器件企業(yè)的發(fā)展理念與技術(shù)布局，為分析儀器領(lǐng)域與夜視技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)交流、產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新搭建了橋梁，也為分析儀器行業(yè)的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)升級拓寬了思路。
圖 9 參觀中國光學(xué)歷史博物館
自此，SAC/TC124/SC6 四屆五次會議圓滿結(jié)束。
圖10 會議全體委員和專家合影
