近日，國機集團所屬沈陽儀表科學研究院有限公司（以下簡稱“沈陽儀表院”）承擔的遼寧省科技創(chuàng)新重大專項“高精密激光劃片機工藝技術(shù)及裝備研究”順利通過驗收，成功研制出國內(nèi)先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機，填補了國內(nèi)空白，在破解制約國產(chǎn)高端激光IC劃切裝備及關(guān)鍵工藝瓶頸的道路上邁出堅實一步。

劃片機是晶圓加工的重要設備，主要用于硅片、陶瓷、玻璃、藍寶石等脆硬材料的劃槽和切割加工，已廣泛應用在IC、半導體傳感器、LED、太陽能光伏基片、醫(yī)用“B超”換能頭、光學元器件等產(chǎn)業(yè)。我國傳統(tǒng)劃片機采用砂輪切割，存在崩邊等問題，現(xiàn)在采用的激光技術(shù)又存在熔渣等問題。沈陽儀表院的該產(chǎn)品采用水導激光，很好地解決了這些問題，將來會應用在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)上。

沈陽儀表院與東北大學、沈陽工業(yè)大學、中科院半導體研究所等高校和科研機構(gòu)開展產(chǎn)學研聯(lián)合攻關(guān)，項目組歷時四年，突破了一系列的技術(shù)瓶頸，在水束光纖耦合、高精密運動控制等一系列關(guān)鍵技術(shù)和工藝方面取得重大突破，對誤差擬合和實時補償、視覺對準、激光與微水束對準、設備可靠性分析、微水束激光加工等技術(shù)和工藝進行了研究和應用，開發(fā)了專用控制系統(tǒng)軟件，成功研制出國內(nèi)先進的12英寸高精密微水束耦合激光劃片機。

該產(chǎn)品目前正在中國科學院半導體研究所示范應用，總體運行穩(wěn)定。項目相關(guān)技術(shù)還直接促進了沈陽儀表院紅外激光劃片機和ZSH系列砂輪劃片機產(chǎn)品的升級換代，技術(shù)衍生產(chǎn)品6寸激光劃片機于今年也正式進入市場服役。項目組下一步將對標國外設備，繼續(xù)優(yōu)化樣機性能，同時，計劃組建精密劃切工程技術(shù)實驗室，依托專業(yè)化技術(shù)平臺開展激光劃片多種工藝研究，為沈陽儀表院高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力支撐。